Ученый раскрывает физику процесса плазменного травления

Каганович, заместитель заведующего кафедрой теории PPPL, вместе с Дмитрием Сидоренко из Университета Альберты знали, что процесс плазменного травления эффективен, но не были уверены, как именно он работает. Итак, они исследовали теоретические основы этого процесса.

В процессе травления кусок кремния помещается в камеру и погружается в тонкий слой плазмы шириной около двух сантиметров. …