В качестве решения этой проблемы исследовательская группа под руководством профессоров Кеон Джэ Ли и Санг-Хи Ко Пак с факультета материаловедения и инженерии Корейского передового института науки и технологий (KAIST) разработала ультратонкие и прозрачные оксидные тонкие пленки. пленочные транзисторы (TFT) для объединительной платы с активной матрицей гибкого дисплея с использованием метода неорганического лазерного отрыва (ILLO). Команда профессора Ли ранее продемонстрировала технологию ILLO для накопления энергии (Advanced Materials, 12 февраля 2014 г.) и гибкой памяти (Advanced Materials, 8 сентября 2014 г.).
Исследовательская группа изготовила высокоэффективную оксидную матрицу TFT поверх жертвенной лазерно-реактивной подложки. После лазерного облучения с обратной стороны подложки только массивы оксидных TFT были отделены от жертвенной подложки в результате реакции между лазером и лазерно-реактивным слоем, а затем перенесены на ультратонкий пластик (толщиной 4 мкм). Наконец, переданная схема управления из сверхтонкого оксида для гибкого дисплея была прикреплена конформно к поверхности кожи человека, чтобы продемонстрировать возможность носимого приложения.
Присоединенные оксидные TFT показали высокую оптическую прозрачность 83% и подвижность 40 см ^ 2 В ^ (- 1) с ^ (- 1) даже при нескольких циклах жестких испытаний на изгиб.Профессор Ли сказал: «Используя наш процесс ILLO, технологические барьеры для получения высокоэффективных прозрачных гибких дисплеев были преодолены при относительно низких затратах за счет удаления дорогих полиимидных подложек. Более того, высококачественный оксидный полупроводник можно легко перенести на кожевенный или любой гибкий субстрат для ношения ».