От пластины к микросхеме: рентгеновское изображение для снижения количества дефектов
Даже несколько дислокаций в кремниевых пластинах могут привести к дефектным компьютерным микросхемам и, следовательно, к нежелательным производственным бракам. «Поэтому важно понимать, как незначительный механический поверхностный дефект распространяется в глубину кристалла при типичных технологических воздействиях, таких как тепло», — говорит д-р Даниэль Ханшке, физик из Института фотоники и синхротронного излучения KIT. …
От пластины к микросхеме: рентгеновское изображение для снижения количества дефектовПодробнее »